装修指导
联系我们

联系人:丁女士

地 址:上海市 浦东新区浙桥路289弄2号楼13楼(碧云公馆)

联系电话 : 021-51923319

联系方式:18017623317

Email:info@

友情链接
电子宣传册

装修指导DYNAMIC NEWS----超净工 作台空气净化说明

    超净工 作台的结构及如何空气净化说明 空气经 过过滤的生产环境首先被航空航天工业使用。

    即使一 个极其微小的缺陷都可造成卫星工作失误,因此,NASA(美国航空航天中心)和其服 务商们建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。而且首 创了许多基本的污染控制理念,其中包 括从工作人员洁净服到洁净室使用物的管理方法。 半导体 工业采用了许多这方面的技术。

    然而一 个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人工作的大型车间后,很难保 持其固有的洁净度。早期半 导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为超净工作台法。这个主 要是把过滤器装在单个工作台上,并使用无脱落的物质。在工作台以外,晶圆被 装在密封的盒子中储存、运输。 在大型 车间中按顺序排列的工作台(叫做工作层流罩)组成加工区,使晶圆 依工艺次序经过而不从露于空气中。洁净工 作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器(HEPA高效过滤器)。这些过 滤器是由含许多小孔,并按手 风琴琴叶折叠的脆性纤维组成,由于高 密度的小孔与大面积的过滤层,使得大 量的空气低速流过。

   由于低 速空气可避免产生空气流,有利于 工作台的洁净度,并且对于操作员而言,在舒适 的环境中工作也是必要的。典型的空气流量6为每分钟90到100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率,并可用 于三种净化方法中。

   一般来说,HEPA高效过 滤器装于超净工作台顶部。空气由 风扇吸入先通过前置过滤器,再通过HEPA过滤器,并以均 匀平行的方式流出,在工作 台表面改变方向,流出工作台。安装档 板可控制晶圆表面空气流动方向,通常这 种方式称为空气层流立式式(VLF)工作台,它是由 空气流的方向命名的。有些工作台把HEPA过滤器 装于工作台后部,这种方 式被称为空气层流平行(HLF)式工作台。 高效空气过滤器(HEPA).DirtyAir脏空气.CleanAir净空气.空气层流立式工作台.Blower鼓风机.HEPAFilterHEPA过滤器.Prefilter前级过滤器 .Shield挡板   AirFlow空气流 WorkSurface工作台面.

  这两种 工作台按两种方法来保持晶圆清洁:首先是 工作台内的空气净化;其次,净化过 程在工作台内产生一点空气正压,正压可 防止由操作员与走廊产生的污染物进入工作台。 使用化 学溶液的工艺需要对VLF式工作 台进行特殊设计,这种工 作台必须接有空气排风,以吸收化学溶液蒸汽,因为蒸 汽会产生安全及污染的危险。

  在这种设计下,必须平衡VLF与排风中的空气流,来维持 工作台的洁净级别数。而且还 要求晶片需存放在工作台中相对较洁净的前部。 超净工 作台的方法还可应用于现代晶圆加工设备中。在每台设备上安装VLF或HLF式工作 台来保持晶圆在装卸过程中洁净。

 

<<上一页   下一页>>

关于天云 | 诚聘英才 | 诚邀加盟 | 资讯中心 | 广告合作 | 网站地图 | 法律声明 | 投诉建议 | 联系我们 | 返回首页
友情链接:    真钱的棋牌手机游戏   欢乐三公   手机百人牛牛闲家押注技巧   棋牌送彩金38元   棋牌送彩金多的网站